熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(zhǎng)爐技術(shù)特征

采用先進(jìn)的進(jìn)控制技術(shù)，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)??；

多通道工藝氣路，配合旋轉(zhuǎn)料臺(tái)，無沉積死角；

多級(jí)尾氣處理系統(tǒng)，能高效處理腐蝕性尾氣、固體副產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配最新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率低；

適于工藝氣氛：真空/H₂/N₂/Ar/BCl₃/NH₃。

熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(zhǎng)爐產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(zhǎng)爐配置選擇